一种石英舟
授权
摘要
本申请公开了一种石英舟，包括一对相对设置的侧支撑杆，一根底支撑杆，一对相对设置的端板；所述侧支撑杆和所述底支撑杆呈倒三角分布，所述端板具有用于固定所述侧支撑杆和所述底支撑杆的多个槽孔。可见，本申请中的石英舟具有两根侧支撑杆、一根底支撑杆和应与固定侧支撑杆和底支撑杆的两块端板，侧支撑杆和底支撑杆呈倒三角形状分布，与现有技术相比，将端板之间的支撑杆的数量减少至三根，减小石英舟在炉管内占据的体积，降低石英舟对气流流通性的影响，从而增强扩散的均匀性，并且，端板之间的支撑杆的数量减少还能减小硅片与支撑杆的接触区域，减少硅片表面的卡槽印。
基本信息
专利标题 ：
一种石英舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922198492.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-10
授权号 ：
CN210535640U
授权日 ：
2020-05-15
发明人 ：
赵迎财金井升张昕宇
申请人 ：
浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
田媛媛
优先权 ：
CN201922198492.0
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-05-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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