一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构
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摘要
本实用新型公开了一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构，包括底座和转动块，底座的顶部四周均固定安装多个导向柱，转动块中部开有连接孔，连接孔的内壁底部固定套接有摩擦垫，摩擦垫的内壁转动套接在导向柱上，转动块的圆周外壁顶部固定安装有压板，压板底部的转动块外壁上固定安装有挤压块，连接孔的顶部内壁和导向柱的顶部间安装有压紧机构。先转动转动块，使得压板和挤压块朝向底座外壁，便于将板件放置在底座中部，然后再转动转动块，使得压板和挤压块转向板件，挤压块逐渐挤压板件四周侧壁，对板件进行水平限位，压板转至板件边缘顶部，并且压紧机构下压转动块，从而使得压板压紧在板件顶部，从而对板件快速压紧限位，便于使用。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922239026.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-13
授权号 ：
CN211350569U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
王成杰
申请人 ：
苏州合志杰新材料技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区香江路58号3幢
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922239026.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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