一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具
授权
摘要
本实用新型公开一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，包括上盖、晶圆本体、下载板，下载板上开设有排气切口，且下载板两侧对称开设有气囊安装槽，气囊安装槽内圈处设置有支撑台。本实用新型电镀用双面挂具装载时，由气囊压力推动扭簧夹具，实现晶圆快速与挂具完成对位安装，由扭簧回弹产生锁紧力，不需要借助外力做特别对位动作，减少刮擦伤害，晶圆挂具安装卸载时由气动驱动弹簧快速安装卸载，扭簧回弹产生锁紧力，安装卸载晶圆只有直线运动而非旋转式运动，可以减少摩擦，减少晶圆刮伤、减少静电产生，解决现有技术中晶圆电镀时在挂具上装卸时容易造成晶圆的损坏，从而导致产品的不良率提高技术问题。
基本信息
专利标题 ：
一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922296849.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN211497836U
授权日 ：
2020-09-15
发明人 ：
周飞云程本阳
申请人 ：
安徽宏实自动化装备有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市包河区延安路2号宏实集团工业园区
代理机构 ：
合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
韩立峰
优先权 ：
CN201922296849.9
主分类号 ：
C25D17/08
IPC分类号 ：
C25D17/08 C25D7/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C25
电解或电泳工艺；其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸；工件的电解法接合；所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
C25D17/06
施镀制品的悬挂或支承装置
C25D17/08
挂具
法律状态
2020-09-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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