一种晶圆电镀用双面挂具
授权
摘要
本实用新型公开一种晶圆电镀用双面挂具，包括上盖、晶圆本体、下载板，下载板两侧对称开设有对位斜面，对位斜面外圈处设置有气囊槽，气囊槽外圈处设置有卡环下凸台，下载板内圈处设置有凸台，凸台内圈处设置有排气孔，上盖上开设有斜面槽。本实用新型下载板提供双面的装载功能，作业前能够被安装两片晶圆于此电镀夹具上，可以将电镀过程效率提高一倍，解决现有技术中晶圆级电镀生产过程使用的晶圆挂具多数为单面电镀装置，限制了电镀过程的有效产出，生产效率低，电镀液利用率低的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆电镀用双面挂具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922298599.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN211497837U
授权日 ：
2020-09-15
发明人 ：
周飞云冉翔
申请人 ：
安徽宏实自动化装备有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市包河区延安路2号宏实集团工业园区
代理机构 ：
合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
韩立峰
优先权 ：
CN201922298599.2
主分类号 ：
C25D17/08
IPC分类号 ：
C25D17/08 C25D7/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C25
电解或电泳工艺；其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸；工件的电解法接合；所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
C25D17/06
施镀制品的悬挂或支承装置
C25D17/08
挂具
法律状态
2020-09-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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