一种带切割道的软结构纳米压印模具
授权
摘要
本实用新型公开了一种带切割道的软结构纳米压印模具。包括基板；包括切割道遮光层，切割道遮光层布置于基板上表面；包括微纳结构层，微纳结构层设置于基板下表面，微纳结构层为覆盖在基板下表面的带有微纳凹凸表面的材料层；微纳结构层的凹凸形状与所需制作的微纳产品的凸凹形状相反。本实用新型可使在纳米压印晶圆上，在设计好的切割道区域内没有压印胶残余层直接露出基底材料，这样避免了由于压印胶残余层给后续切割工艺带来的困难，大大提高良率和产品质量，降低切割时间和成本。
基本信息
专利标题 ：
一种带切割道的软结构纳米压印模具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922329343.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-23
授权号 ：
CN211375312U
授权日 ：
2020-08-28
发明人 ：
张琬皎刘寅张颖
申请人 ：
杭州欧光芯科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市大江东产业集聚区义蓬街道青六中路888号义蓬科创园1101室
代理机构 ：
杭州求是专利事务所有限公司
代理人 ：
林超
优先权 ：
CN201922329343.3
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2020-08-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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