一种空气隙型薄膜体声波谐振器
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开了空气隙型薄膜体声波谐振器，包括从下至上依次分布的外延衬底、压电层及钝化层，所述压电层的上表面与下表面分别相对相连接有顶电极与底电极；所述外延衬底的顶部设有第一硅腔，所述底电极与第一硅腔形成空气隙结构。本实用新型结构简单，可缩短制备时间且提高良率。
基本信息
专利标题 ：
一种空气隙型薄膜体声波谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922331246.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-23
授权号 ：
CN211656101U
授权日 ：
2020-10-09
发明人 ：
李国强
申请人 ：
河源市众拓光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省河源市高新技术开发区高新五路众拓光电
代理机构 ：
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
王忠浩
优先权 ：
CN201922331246.8
主分类号 ：
H03H9/17
IPC分类号 ：
H03H9/17 H03H3/02
法律状态
2022-03-15 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H03H 9/17
登记生效日 : 20220302
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 河源市众拓光电科技有限公司
变更后权利人 : 广州市艾佛光通科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 517000 广东省河源市高新技术开发区高新五路众拓光电
变更后权利人 : 510700 广东省广州市黄埔区开源大道136号B2栋1103室
登记生效日 : 20220302
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 河源市众拓光电科技有限公司
变更后权利人 : 广州市艾佛光通科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 517000 广东省河源市高新技术开发区高新五路众拓光电
变更后权利人 : 510700 广东省广州市黄埔区开源大道136号B2栋1103室
2020-10-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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