一种空气隙型薄膜体声波谐振器
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型公开了一种空气隙型薄膜体声波谐振器,所述谐振器从下到上依次分布转移衬底、键合层、底电极、压电薄膜与顶电极;所述键合层、底电极与转移衬底围成空气隙结构,所述压电薄膜的上表面与下表面分别连接有相对的顶电极与底电极,且所述底电极位于所述空气隙结构中,所述顶电极、压电薄膜与底电极构成三明治结构,且所述顶电极与底电极的正投影不完全重合;所述键合层与所述压电薄膜之间还设有填平层,所述填平层位于底电极的外侧,与所述底电极的厚度相同。本实用新型结构简单稳定,可控性强且降低其生产成本,适用于高频领域。

基本信息
专利标题 :
一种空气隙型薄膜体声波谐振器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922333182.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-23
授权号 :
CN211127748U
授权日 :
2020-07-28
发明人 :
李国强
申请人 :
河源市众拓光电科技有限公司
申请人地址 :
广东省河源市高新技术开发区高新五路众拓光电
代理机构 :
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
王忠浩
优先权 :
CN201922333182.5
主分类号 :
H03H9/17
IPC分类号 :
H03H9/17  H03H3/02  
法律状态
2022-03-04 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H03H 9/17
登记生效日 : 20220218
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 河源市众拓光电科技有限公司
变更后权利人 : 广州市艾佛光通科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 517000 广东省河源市高新技术开发区高新五路众拓光电
变更后权利人 : 510700 广东省广州市黄埔区开源大道136号B2栋1103室
2020-07-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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