一种溅射靶材打磨装置
授权
摘要

本实用新型涉及一种溅射靶材打磨装置,包括机架、设置在机架上的立柱、连接于立柱上的打磨头、水平设置在机架上的磨床、设置在磨床上表面上的若干校直线、活动设置在磨床上的夹具、设置在机架外围的挡板、挂设在挡板上的气枪,气枪内通有高压气体,磨床为具有吸合功能的磁性磨床,磨床与夹具吸合配合;夹具为E型结构,夹具竖直固定架、垂直设置在竖直固定架上的三个横杆、对应设置在其中相邻的两个横杆上的螺纹孔、穿过螺纹孔的螺杆、分别设置在螺杆两端的把手和挡片。本装置可实现高精度打磨,并有效夹紧溅射靶材,防止跑偏;同时气枪可实现碎屑的及时清除,具有使用简单的特点。

基本信息
专利标题 :
一种溅射靶材打磨装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922336297.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-23
授权号 :
CN211516950U
授权日 :
2020-09-18
发明人 :
邢伟亮
申请人 :
中诺新材(北京)科技有限公司
申请人地址 :
北京市海淀区上地东路25号3层8单元319
代理机构 :
北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈践实
优先权 :
CN201922336297.X
主分类号 :
B24B7/10
IPC分类号 :
B24B7/10  B24B27/00  B24B41/06  B24B55/06  B24B41/02  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B7/00
适用于磨削工件平面的机床或装置,包括抛光平面玻璃表面;及其附件
B24B7/10
专用机床或装置(
法律状态
2020-09-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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