一种溅射靶材打磨装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种溅射靶材打磨装置，包括机架、设置在机架上的立柱、连接于立柱上的打磨头、水平设置在机架上的磨床、设置在磨床上表面上的若干校直线、活动设置在磨床上的夹具、设置在机架外围的挡板、挂设在挡板上的气枪，气枪内通有高压气体，磨床为具有吸合功能的磁性磨床，磨床与夹具吸合配合；夹具为E型结构，夹具竖直固定架、垂直设置在竖直固定架上的三个横杆、对应设置在其中相邻的两个横杆上的螺纹孔、穿过螺纹孔的螺杆、分别设置在螺杆两端的把手和挡片。本装置可实现高精度打磨，并有效夹紧溅射靶材，防止跑偏；同时气枪可实现碎屑的及时清除，具有使用简单的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种溅射靶材打磨装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922336297.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-23
授权号 ：
CN211516950U
授权日 ：
2020-09-18
发明人 ：
邢伟亮
申请人 ：
中诺新材（北京）科技有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区上地东路25号3层8单元319
代理机构 ：
北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈践实
优先权 ：
CN201922336297.X
主分类号 ：
B24B7/10
IPC分类号 ：
B24B7/10 B24B27/00 B24B41/06 B24B55/06 B24B41/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B7/00
适用于磨削工件平面的机床或装置，包括抛光平面玻璃表面；及其附件
B24B7/10
专用机床或装置（
法律状态
2020-09-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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