基片转移装置
授权
摘要
本实用新型提供一种基片转移装置。所述基片转移装置包括设置有旋风吸盘的机械手，因而可以通过向所述机械手导入一定压力的气流而执行吸附操作。在连接压缩气源和所述机械手的主气路上设置有压力调整单元，所述压力调整单元可以根据电信号对导入的压缩气体进行比例调整后再传输至所述机械手。利用所述基片转移装置吸附不同厚度和重量的基片时，可以通过电信号的变化来改变压力调整单元的输出，进而改变输入到机械手的气流压力，不需要人工操作减压阀来减压，可以实现精确调节气流压力，使基片吸附更加牢靠，有助于降低碎片风险，提高作业效率。
基本信息
专利标题 ：
基片转移装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922404232.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-27
授权号 ：
CN211541265U
授权日 ：
2020-09-22
发明人 ：
金超董洪波付文磊刘凯张向飞
申请人 ：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区张东路1525号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宏婧
优先权 ：
CN201922404232.4
主分类号 ：
B25J15/06
IPC分类号 ：
B25J15/06 B65G47/91
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J15/00
夹头
B25J15/06
带真空或磁力夹持装置
法律状态
2020-09-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
