一种镀膜基片的安装、拆卸的方法
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摘要
本发明涉及真空薄膜制备技术领域，尤其是一种镀膜基片的安装、拆卸的方法，其在基板上设置高低起伏的粘贴面，粘贴面用于与基片粘结固定以使基片安装固定到基板上，且粘结面在基片的片体范围内形成有粘结力相对较小的区域以及粘结力相对较大的区域；自粘结力相对较小的粘结区域至粘结力相对较大的粘结区域克服基片与粘结面之间的粘结力对基片进行逐步剥离揭取，实现基片与基板的拆卸分离。本发明的优点是：可提供基片安装固定所需的足够粘结力满足其安装要求，且所提供的粘结力可针对不同的基片可调，灵活程度高，通用性强，适应面广；实现基片安全、高效地揭取，保证基片在揭取操作时的安全性，避免基片发生破损，有效保障基片质量。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜基片的安装、拆卸的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111254408A
申请号 ：
CN202010146748.8
公开（公告）日 ：
2020-06-09
申请日 ：
2020-03-05
授权号 ：
CN111254408B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
陈韶华余海春张洪
申请人 ：
光驰科技（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号
代理机构 ：
上海申蒙商标专利代理有限公司
代理人 ：
周宇凡
优先权 ：
CN202010146748.8
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C16/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2020-07-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/56
申请日 : 20200305
申请日 : 20200305
2020-06-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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