本发明公开一种波导集成型光电探测器及其制作方法，涉及光电技术领域。所述波导集成型光电探测器包括衬底、至少一条光波导、以及光电转换结构。光波导形成在衬底上方。每条光波导包括导向部。导向部具有多个导向结构，多个导向结构中的至少两个沿着衬底的厚度方向分布，相邻两个导向结构在衬底上的正投影边缘接合。光电转换结构形成在光波导背离衬底的上方。本发明提供的波导集成型光电探测器中导向部包括呈台阶状分布的多个导向结构。多个导向结构可以对光线进行传输和导向，使得这些光线可以导入至光电转换结构，完成光电转换过程，从而实现由波导材料形成的光波导与光电转换结构的集成化，提高波导集成型光电探测器的单片集成度。