可调节狭缝结构和曝光装置
授权
摘要

本发明提供了一种可调节狭缝结构及曝光装置,可调节狭缝用于曝光装置,曝光装置包括照明光源和投影物镜;可调节狭缝结构设置于照明光源和投影物镜之间,包括导轨本体、第一调节单元以及至少两个遮光本体;导轨本体与曝光装置连接,每个遮光本体包括至少一个透光狭缝,遮光本体与导轨本体活动连接;第一调节单元与遮光本体连接,第一调节单元被配置为调节遮光本体之间的相对位置,从而控制至少两个可调节狭缝的宽度;可调节狭缝为由其中一个透光狭缝和至少另一个所述遮光本体形成的照明视场。本发明提供的可调节狭缝结构和曝光装置简化了投影物镜的剂量控制流程,多个可调节狭缝的宽度可同时调节,提高了曝光剂量控制的精度。

基本信息
专利标题 :
可调节狭缝结构和曝光装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113741150A
申请号 :
CN202010479610.X
公开(公告)日 :
2021-12-03
申请日 :
2020-05-29
授权号 :
CN113741150B
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
张民山
申请人 :
上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区张东路1525号
代理机构 :
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 :
王宏婧
优先权 :
CN202010479610.X
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  G02B26/02  
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IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-03 :
授权
2021-12-21 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20200529
2021-12-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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