一种划片槽线宽监测图形及方法
授权
摘要
本发明提供了一种划片槽线宽监测图形及方法，包括：第一圈台阶，设置在衬底上，所述第一圈台阶首尾相连组成了第一开口腔体；第二圈台阶，设置在所述衬底上，所述第二圈台阶位于所述第一开口腔体内，所述第二圈台阶首尾相连组成了第二开口腔体；划片槽图形，设置在所述衬底上，位于所述第二开口腔体内；以及位置标记，设置在所述衬底上，位于所述第二开口腔体内，用于给所述划片槽图形定位。本发明的一种划片槽线宽监测图形及方法，通过位置标记精准定义所述划片槽线宽监测图形的量测位置，可以快速定位并切片确认光刻胶形貌和厚度的异常情况。
基本信息
专利标题 ：
一种划片槽线宽监测图形及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111913365A
申请号 ：
CN202010709827.5
公开（公告）日 ：
2020-11-10
申请日 ：
2020-07-22
授权号 ：
CN111913365B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
王强吴庭溪宋帅迪王松程傲霜
申请人 ：
南通大学
申请人地址 ：
江苏省南通市啬园路9号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
朱小兵
优先权 ：
CN202010709827.5
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2020-11-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20200722
申请日 : 20200722
2020-11-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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