检测装置
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种检测装置，包括载板、多个伸缩探针、锁固组件以及导电结构。载板具有贯孔与对应贯孔的接地垫。载板具有第一表面与相对于第一表面的第二表面，贯孔由第一表面贯穿至第二表面，接地垫设置于第二表面。多个伸缩探针平行地设置于载板的第一表面上。锁固组件穿过贯孔。锁固组件包括螺丝。螺丝的头部具有第一螺距与第二螺距，第一螺距的密度不同于第二螺距的密度。导电结构部分嵌入锁固组件内，其中导电结构、锁固组件与接地垫电性连接。
基本信息
专利标题 ：
检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114429916A
申请号 ：
CN202011179343.0
公开（公告）日 ：
2022-05-03
申请日 ：
2020-10-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
廖致杰孙育民程志丰
申请人 ：
创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市科学工业园区力行六路10号
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
张娜
优先权 ：
CN202011179343.0
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66 H01L21/67 H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/66
申请日 : 20201029
申请日 : 20201029
2022-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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