检测装置

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型提供了一种检测装置，所述检测装置包括：光源组件，所述光源组件包括检测光源以及反射装置；所述检测光源用于出射检测光束；所述反射装置包括反射面，所述反射装置具有第一姿态以及第二姿态，当所述反射装置处于所述第一姿态时，所述检测光束经第一入射组件形成第一检测光束入射至检测目标表面，当所述反射装置处于所述第二姿态时，所述检测光束经第二入射组件形成第二检测光束入射至所述检测目标表面；所述反射装置通过使所述反射面沿第一轴移动，或者，使所述反射面绕所述第一轴转动进行姿态切换。应用本实用新型提供的检测装置，可以有效减小设备体积，提高光的利用率。

基本信息

专利标题：

检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020013823.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-03

授权号：

CN210837660U

授权日：

2020-06-23

发明人：

张龙黄有为李璟陈鲁

申请人：

深圳中科飞测科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

林哲生

优先权：

CN202020013823.9

主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/66 H01L21/67

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/66

在制造或处理过程中的测试或测量

法律状态

2021-02-23 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : H01L 21/66
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳中科飞测科技有限公司
变更后 : 深圳中科飞测科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
变更后 : 518109 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301

2020-06-23 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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