一种紫外-可见-近红外硅基光电探测器及其制备方法
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摘要
本发明属光电领域,公开了一种紫外‑可见‑近红外硅基光电探测器及其制备方法,所述的光电探测器为复合层式结构,沿着光入射方向依次包括透明保护层、粘结剂、正面金属薄膜层、无序纳米碗阵列化硅基底、背面金属薄膜层和底板。正面金属薄膜和无序纳米碗阵列层的复合结构可以显著抑制200~2500nm波段范围内的光反射,硅基底背面的金属薄膜近乎完全反射到达硅基底界面的光子,使得器件整体的透射率接近零。利用无序纳米碗阵列化硅基底及沉积于上的金属薄膜对入射光子的高效吸收和光生载流子的有效收集,本方案可以在室温、无外加偏压下对紫外‑可见‑近红外波段的光子实现显著光电响应和有效探测,且对光子的偏振和入射角度不敏感。
基本信息
专利标题 :
一种紫外-可见-近红外硅基光电探测器及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112331737A
申请号 :
CN202011197948.2
公开(公告)日 :
2021-02-05
申请日 :
2020-10-30
授权号 :
CN112331737B
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
吴绍龙周禄为张程李孝峰李刘晶
申请人 :
苏州大学
申请人地址 :
江苏省苏州市相城区济学路8号
代理机构 :
苏州智品专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王利斌
优先权 :
CN202011197948.2
主分类号 :
H01L31/102
IPC分类号 :
H01L31/102 H01L31/0224 H01L31/0352 H01L31/18
法律状态
2022-05-03 :
授权
2021-02-26 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/102
申请日 : 20201030
申请日 : 20201030
2021-02-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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