铝钪合金靶材的制备方法
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摘要

本发明实施例公开了一种铝钪合金靶材的制备方法,所述方法包括将金属钪和金属铝按一定配比投入熔炼炉中,在真空或惰性气氛下,熔炼得到铝钪合金熔体;将所述铝钪合金熔体浇铸到待加压铸造模具中,并将所述待加压铸造模具转移到挤压装置中,启动所述挤压装置,得到铸压坯体;将所述铸压坯体在真空退火炉中退火。采用本发明可以制备任意配比的铝钪合金靶材,获得的铝钪合金靶材具有组织和化学成分均匀,气孔、夹杂等缺陷小,相对密度高,加工性能好等优点,适合压电薄膜、传感器、微电子、半导体芯片、光伏等高端产业的需要。

基本信息
专利标题 :
铝钪合金靶材的制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112548069A
申请号 :
CN202011215661.8
公开(公告)日 :
2021-03-26
申请日 :
2020-11-04
授权号 :
CN112548069B
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
周贤界黄勇彪
申请人 :
深圳市众诚达应用材料科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市光明区公明街道下村社区第二工业区16号一层
代理机构 :
深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙)
代理人 :
林俭良
优先权 :
CN202011215661.8
主分类号 :
B22D18/02
IPC分类号 :
B22D18/02  C22F1/02  C22F1/04  C23C14/35  
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IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B22
铸造;粉末冶金
B22D
金属铸造;用相同工艺或设备的其他物质的铸造
B22D18/00
压力铸造;真空铸造
B22D18/02
利用机械压力装置的压力铸造,如冲压铸造
法律状态
2022-06-03 :
授权
2021-04-13 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B22D 18/02
申请日 : 20201104
2021-03-26 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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