一种钛铝合金靶材的制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种钛铝合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将钛粉和铝粉置于真空滚动混料机中混合，得到混合物；B)将所述混合物采用滚动加热熔炼工艺制备钛铝合金靶材生坯，将所述钛铝合金靶材生坯进行热压烧结，得到钛铝合金靶材粗品；C)将所述钛铝合金靶材粗品进行退火，得到钛铝合金靶材。本申请制备了具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击性能的钛铝合金靶材，该种合金靶材作为旋转靶真空镀膜，可得到高电阻、抗电磁干扰、防静电、抗磨损的优质薄膜，可增加膜层的均匀性，提高靶材的利用率。
基本信息
专利标题 ：
一种钛铝合金靶材的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114525479A
申请号 ：
CN202011231607.2
公开（公告）日 ：
2022-05-24
申请日 ：
2020-11-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄永香
申请人 ：
湖南七点钟文化科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省湘潭市湘潭经开区大众东路2号办公楼301室
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
李伟
优先权 ：
CN202011231607.2
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C22C14/00 B22F1/14 B22F1/052 C22C1/02 C22F1/18 C21D1/26
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-06-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/35
申请日 : 20201106
申请日 : 20201106
2022-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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