一种铝合金靶材及其制备方法
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种铝合金靶材及其制备方法,属于靶材制备领域。本发明提出将铝铜铸锭旋转锻打、轧制整形、热处理得到靶材胚料。将靶材胚料和铝合金背板进行V型齿槽加工,卡合后进行冷等静压处理和V型齿结合边缘凹面电子束焊接得到铝合金靶材。本发明运用冷等静压处理与电子束焊接相结合的方式保证结合率高于98%。V型齿啮合技术,增大结合面面积,大大提高结合率,同时降低人工成本,减少传统绑定能耗,提高了人员舒适性。冷等静压处理二次循环压制工艺,极大的保证了靶材结合强度以及一定程度上减少了杂质的渗入,保证了靶材完整性。本发明铝合金靶材适用于物理气相沉积中的应用。

基本信息
专利标题 :
一种铝合金靶材及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114481052A
申请号 :
CN202210029390.X
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-01-11
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
芦海东黄宇彬童培云朱刘
申请人 :
先导薄膜材料(广东)有限公司
申请人地址 :
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
代理机构 :
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 :
费雯
优先权 :
CN202210029390.X
主分类号 :
C23C14/34
IPC分类号 :
C23C14/34  C22F1/04  B23P15/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/34
申请日 : 20220111
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332