一种高铬铝合金靶材及制备方法

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摘要

本公开实施例是关于一种高铬铝合金靶材及制备方法。该方法包括：根据铬铝合金靶材的两相结构要求确定铬铝合金靶材的性能参数的数值范围；根据铬铝合金靶材的性能参数的数值范围确定制备铬铝合金靶材的工艺方法；利用工艺方法进行铬铝合金靶材的制备；其中，两相结构由铬相和铬铝合金相组成，且相互穿插均匀分布，铬铝合金靶材的性能参数数值范围为：铬相的面积占比为10%～35%，铬铝合金相的面积占比为65%～90%。本公开实施例通过根据铬铝合金靶材的两相结构要求确定铬铝合金靶材的性能参数的数值范围，利用制备工艺制备出符合具有两相结构的铬铝合金靶材，提高了镀膜的均匀性及机械加工性能。

基本信息

专利标题：

一种高铬铝合金靶材及制备方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN114101677A

申请号：

CN202210092184.3

公开（公告）日：

2022-03-01

申请日：

2022-01-26

授权号：

CN114101677B

授权日：

2022-05-03

发明人：

王新锋刘李旭向长淑陈斌科姚甜孙恒超肖成桥苏腾飞郭栋

申请人：

西安赛隆金属材料有限责任公司

申请人地址：

陕西省西安市经济技术开发区凤城十二路凯瑞A座303-46室

代理机构：

西安亚信智佳知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

骆怡洁

优先权：

CN202210092184.3

主分类号：

B22F3/15

IPC分类号：

B22F3/15 B22F1/052 C23C14/34