一种钨钛合金靶材的制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种钨钛合金靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)以W粉和TiH2粉为原料，先将TiH2粉进行气流磨处理；(2)将气流磨后的TiH2粉放入炉中进行脱氢处理，得到Ti粉；(3)将W粉和Ti粉混合，在真空条件下进行干法球磨；(4)将球磨后的W‑Ti粉末加入到震动的热压烧结容器中；(5)然后进行真空热压烧结处理；(6)升高烧结温度，保持压力不变；(7)降低烧结温度，保持压力不变；(8)保持烧结温度，升高压力，保温，然后随炉冷却至室温，经过切削后得到所述钨钛合金靶材。本发明制得的靶材，有效防止了在镀膜过程中因为气孔产生的污染和镀膜后薄层的不均一性，增加W‑Ti合金靶材的使用寿命和应用领域。
基本信息
专利标题 ：
一种钨钛合金靶材的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114309609A
申请号 ：
CN202111519509.3
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
程少磊马国成欧海玲庄成康徐铸童培云
申请人 ：
先导薄膜材料有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市新站区龙子湖路与通淮南路交口西北角
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
颜希文
优先权 ：
CN202111519509.3
主分类号 ：
B22F3/14
IPC分类号 ：
B22F3/14 B22F9/30 B22F9/04 C22C27/04 C22C1/04 C23C14/34
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B22
铸造；粉末冶金
B22F
金属粉末的加工；由金属粉末制造制品；金属粉末的制造，金属粉末的专用装置或设备
B22F3/00
由金属粉末制造工件或制品，其特点为用压实或烧结的方法；所用的专用设备
B22F3/12
用压实和烧结两种方法
B22F3/14
同时的
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B22F 3/14
申请日 : 20211213
申请日 : 20211213
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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