一种铂片靶材的制备方法
授权
摘要
本发明提供了一种铂片靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)将铂锭在1050～1150℃保温0.8～1.5小时后进行第一轧制得到厚度为2～3mm铂片；第一轧制包括若干个循环轧制A，所述循环轧制A的轧制道次为8～12道次；所述循环轧制A的每个道次的轧制量为2.0～3.0mm；每完成一个循环轧制A于1050～1150℃进行保温；(2)将步骤(1)处理后的铂片进行退火处理，所述退火处理的方式为通过明火将步骤(1)处理后的铂片烧结成红色后冷却；(3)将步骤(2)处理后的铂片进行第二轧制得到厚度为0.07～0.10mm的铂片；所述第二轧制的每个道次的轧制量为0.10～0.30mm。本发明采用铂片靶材的制备方法制备得到的铂片靶材的厚度更小更均匀，而且开裂率较低，成品率高。
基本信息
专利标题 ：
一种铂片靶材的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113231467A
申请号 ：
CN202110492699.8
公开（公告）日 ：
2021-08-10
申请日 ：
2021-05-06
授权号 ：
CN113231467B
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
钱增杰黄宇彬童培云
申请人 ：
先导薄膜材料（广东）有限公司
申请人地址 ：
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
颜希文
优先权 ：
CN202110492699.8
主分类号 ：
B21B1/40
IPC分类号 ：
B21B1/40 C22F1/14
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B21
基本上无切削的金属机械加工；金属冲压
B21B
金属的轧制
B21B1/00
金属轧制的方法或制造实心半成品或成型截面的轧机；轧机机列内的加工序列；轧制车间的布置，如机座的分组，轧道的顺序或分轧道变换的顺序
B21B1/40
用于轧制有特殊问题的薄箔，如由于太薄的问题
法律状态
2022-05-10 ：
授权
2021-08-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B21B 1/40
申请日 : 20210506
申请日 : 20210506
2021-08-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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