一种多晶硅生长控制方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种多晶硅生长控制方法,包括:建立快速熔断控制曲线,并写入DCS系统;通过建立数学模型,获取U‑I标准曲线,并写入DCS系统;制定基准供料表并设定在DCS系统上,在生产过程中基于DCS系统采集还原炉运行电流和电压的实时数据,并得到U‑I实时曲线;将U‑I实时曲线和U‑I标准曲线进行对比,并根据U‑I实时曲线中的实际电压和U‑I标准曲线中的标准电压的对比结果对制定的所述基准供料表中的参数进行修正,以使在实际电流达到标准电流时的实际电压达到标准电压,得到最终控制曲线和按所述最终控制曲线生产得到的品质均匀的多晶硅产品。本发明可避免还原炉运行超负荷导致的电气故障,获得品质均匀的多晶硅产品。
基本信息
专利标题 :
一种多晶硅生长控制方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114545865A
申请号 :
CN202011336534.3
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2020-11-25
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘长圣李大伟刘丹丹李伟吕海花
申请人 :
新特能源股份有限公司
申请人地址 :
新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园
代理机构 :
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 :
罗建民
优先权 :
CN202011336534.3
主分类号 :
G05B19/418
IPC分类号 :
G05B19/418 C01B33/035
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05B
一般的控制或调节系统;这种系统的功能单元;用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B19/00
程序控制系统
G05B19/02
电的
G05B19/418
全面工厂控制,即集中控制许多机器,例如直接或分布数字控制、柔性制造系统、集成制造系统、计算机集成制造
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G05B 19/418
申请日 : 20201125
申请日 : 20201125
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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