本发明涉及一种尾气排除系统、排除方法及半导体设备，属于半导体制造技术领域，解决了现有技术中通过更换末端执行臂来防止副产物飞散到晶圆上的方式造成生产效率低下的问题。尾气排除系统包括设于末端执行臂表面的多个微孔、多支路混合腔体、控制阀和排放管线，排放管线包括位于末端执行臂内部的第一排放管线和位于末端执行臂外部的第二排放管线，多支路混合腔体上设有出气孔和多个进气孔，进气孔的数量与微孔的数量相同，微孔和进气孔之间通过第一排放管线连接，多个微孔的气体汇集于多支路混合腔体，出气孔和控制阀通过第二排放管线连接。本发明实现了从根本上防止副产物的产生。