本发明公开了半导体设备的测试方法、测试系统，涉及半导体设备测试技术领域。本发明在测试设备的GUI界面提供的多个测试操作窗口中依次选择待测试的目标设备的名称、选择或者自定义目标设备的至少一个测试指令、为测试指令添加测试参数、将测试指令组合成为对应的测试指令序列，然后根据测试指令序列得到封装指令，可直接通过在GUI界面进行操作来获取测试指令序列，半导体设备接收测试设备发送的封装指令后可完成测试，设备测试无需查找设备文档，也无需输入测试指令，极大的简化了测试过程、降低了测试指令输入错误的可能性。