一种测量系统和测量方法
公开
摘要

本发明提供了一种测量系统和测量方法,包括:光发射模块,用于产生泵浦光和探测光,并使泵浦光照射待测物,在待测物中形成声波,声波在待测物相对的表面之间传播;时间延迟器,用于调节探测光和泵浦光之间的延迟时间;干涉模块包括参考镜和分束组件,分束组件用于使探测光分光形成第一探测光和第二探测光,第一探测光达到待测物表面后返回形成信号光,第二探测光到达参考镜后反射形成参考光,参考光和信号光干涉形成干涉光;探测模块,探测模块用于探测干涉光,并根据多个延迟时间下的干涉光获得待测物的待检测信息。与现有技术相比,本发明中的干涉光的探测灵敏度更高,从而能够提高测量系统的测量精度。

基本信息
专利标题 :
一种测量系统和测量方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114562942A
申请号 :
CN202011354753.4
公开(公告)日 :
2022-05-31
申请日 :
2020-11-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈鲁白园园陈驰马砚忠张嵩
申请人 :
深圳中科飞测科技股份有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
刘猛
优先权 :
CN202011354753.4
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-05-31 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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