一种测量系统和测量方法
公开
摘要
本发明提供了一种测量系统和测量方法，包括光发射模块、调制模块和探测模块，光发射模块用于产生第一泵浦光和探测光；调制模块包括：第一分光组件，用于将第一泵浦光分成第一光束和第二光束；光开关，用于控制第一光束的光路和/或第二光束的光路的通断；合束组件，用于使通过光开光的第一光束和第二光束进行合束形成第二泵浦光并照射到待测物表面，在待测物中形成声波，探测光到达待测物表面后反射形成信号光；探测模块用于探测信号光，并根据信号光获得待测物的待检测信息。与现有技术相比，本发明中的调制方式，可以使得泵浦光的调制深度达到100％，进而可以提高泵浦光信号的信噪比，提高待测物的测量精度。
基本信息
专利标题 ：
一种测量系统和测量方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114562943A
申请号 ：
CN202011354760.4
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2020-11-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈鲁白园园马砚忠张嵩
申请人 ：
深圳中科飞测科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘猛
优先权 ：
CN202011354760.4
主分类号 ：
G01B11/06
IPC分类号 ：
G01B11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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