本实用新型提供一种用于太阳能电池制程的清洁装置，包括清洗槽、集液箱、溢流回收装置、进液管、溢流回水管和出液管；集液箱用于盛放清洗液，集液箱、进液管和清洗槽依次连接构成进液支路；溢流回收装置能够承接清洗槽溢出的清洗液，溢流回水管连接溢流回收装置和集液箱，清洗槽、溢流回收装置、溢流回水管和集液箱构成第一出液支路；出液管的进口与清洗槽相连接，出液管的出口与集液箱相连接，清洗槽、出液管和集液箱构成第二出液支路；本实用新型提供的清洁装置设有第一出液支路和第二出液支路，能够在清洁过程中实现清洗液的回收利用，避免清洗液的浪费；在清洁完毕后，能够快速地将清洗液转移至集液箱中，加快工序进展效率。