提高太阳能电池产能制程装置

专利权的终止

摘要

本实用新型一种提高太阳能电池产能制程装置，其包含：一真空加热腔体，该真空加热腔体设有加热器、分子涡流帮浦及干式帮浦；一真空等离子辅助化学气相沉积(PECVD)制程腔体，该真空等离子辅助化学气相沉积制程腔体设有气体供应装置、高频电极、分子涡流帮浦及干式帮浦；一真空冷却腔体，该真空冷却腔体设有冷却装置、分子涡流帮浦及干式帮浦；提供本实用新型的不同腔体作不同加工，可同时对多数组待加工物进行不同加工处理，进而提升产能、缩短加工时间、减少成本，进而达到一种提高太阳能电池产能制程装置的目的。

基本信息

专利标题：

提高太阳能电池产能制程装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720169297.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-07-10

授权号：

CN201069777Y

授权日：

2008-06-04

发明人：

曾子峻林煌琦

申请人：

仕贯真空科技股份有限公司

申请人地址：

台湾省桃园县

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

周国城

优先权：

CN200720169297.X

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18