一种基于锑快门开关的无失配II类超晶格结构
专利申请权、专利权的转移
摘要
本专利公开了一种基于锑快门开关的无失配II类超晶格结构。其单周期结构包括GaSb层,InAs层和InAsSb界面层三层结构。其制备方法是在II类超晶格周期性结构生长过程中,GaSb生长后直接生长InAs层,InAs生长后,打开Sb快门,使得Sb和InAs层中的As进行元素置换,从而形成InAsSb界面层。其特点在于:由于取消了InSb界面层的直接生长,仅在InAs生长后通过引入Sb浸润形成InAsSb界面层,既满足了应力补偿的需求,又简化了界面制备工艺难度,此外,避免了大失配InSb界面直接生长时引入的岛装结构缺陷,提高了材料性能。
基本信息
专利标题 :
一种基于锑快门开关的无失配II类超晶格结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020223057.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-28
授权号 :
CN211208457U
授权日 :
2020-08-07
发明人 :
徐志成朱艺红梁钊铭陈凯豪陈建新
申请人 :
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址 :
上海市虹口区玉田路500号
代理机构 :
上海沪慧律师事务所
代理人 :
郭英
优先权 :
CN202020223057.9
主分类号 :
H01L31/0352
IPC分类号 :
H01L31/0352 H01L31/18 C23C14/02 C23C14/06
法律状态
2021-07-09 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 31/0352
登记生效日 : 20210625
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 常州中科德材科技发展有限公司
变更后权利人 : 中科爱毕赛思(常州)光电科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 213022 江苏省常州市新北区华山中路23号
变更后权利人 : 213000 江苏省常州市新北区华山中路23号
登记生效日 : 20210625
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 常州中科德材科技发展有限公司
变更后权利人 : 中科爱毕赛思(常州)光电科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 213022 江苏省常州市新北区华山中路23号
变更后权利人 : 213000 江苏省常州市新北区华山中路23号
2021-02-09 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 31/0352
登记生效日 : 20210127
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中国科学院上海技术物理研究所
变更后权利人 : 常州中科德材科技发展有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 200083 上海市虹口区玉田路500号
变更后权利人 : 213022 江苏省常州市新北区华山中路23号
登记生效日 : 20210127
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中国科学院上海技术物理研究所
变更后权利人 : 常州中科德材科技发展有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 200083 上海市虹口区玉田路500号
变更后权利人 : 213022 江苏省常州市新北区华山中路23号
2020-08-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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