一种单晶炉用组合坩埚
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摘要
本实用新型公开一种单晶炉用组合坩埚，包括相互扣合的埚筒和埚碗，所述埚筒包括上埚环、下埚环、N根埚条以及2N个紧固件，N根所述埚条的两端分别可拆卸的连接所述上埚环和下埚环并形成筒状结构，相邻两根所述埚条之间具有间隙，所述下埚环可拆卸的连接埚碗；其中N个所述紧固件连接所述上埚环与埚条的一端，另外N个所述紧固件连接所述下埚环与埚条的另一端。本实用新型采用上埚环、下埚环、多条埚条以及紧固件实现埚筒的整体结构设计，结构简单，安装拆卸方便；在制造半导体硅单晶的过程中出现埚筒局部破损或失效时，只需更换部分埚条或上埚环、下埚环，而不会造成整个坩埚报废，节约了碳‑碳复合材料资源，降低了半导体硅单晶的生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种单晶炉用组合坩埚
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020246248.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-03
授权号 ：
CN211814713U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
陈超刘进怀殷勇陈斌
申请人 ：
湖南金创新材料有限公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市长沙县果园镇果园大道328号
代理机构 ：
长沙国科天河知识产权代理有限公司
代理人 ：
邱轶
优先权 ：
CN202020246248.7
主分类号 ：
C30B15/10
IPC分类号 ：
C30B15/10 C30B29/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
C30B15/10
承载熔融液的坩埚或容器
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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