一种多框石墨舟
授权
摘要
本实用新型公开的一种多框石墨舟，包括若干石墨舟片，这些石墨舟片通过陶瓷圈相互隔离叠加后再通过螺栓杆以及螺母连接起来，其特征在于，每片石墨舟片上用以穿过螺栓杆的孔根据位置不同设计成不同的腰形孔，来克服高温膨胀导致的石墨舟片变形后后续装配困难的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种多框石墨舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020295044.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-11
授权号 ：
CN212388112U
授权日 ：
2021-01-22
发明人 ：
张孟彤张勇
申请人 ：
上海弘枫实业有限公司
申请人地址 ：
上海市青浦区练塘镇东泖路218号
代理机构 ：
上海天翔知识产权代理有限公司
代理人 ：
吕伴
优先权 ：
CN202020295044.2
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 C23C16/50 H01L21/673
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2021-01-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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