基于二维光栅的多自由度位移测量系统
授权
摘要
本实用新型提出了基于二维光栅的多自由度位移测量系统，包括分别设置在运动部件和活动部件上的读数模块以及二维光栅，其中，所述读数模块包括沿第一方向排列的两组第一位移传感器、沿第二方向排列的两组第二位移传感器以及位于第一传感器和第二传感器物理中心的距离传感器。本实用新型解决了传统多自由度测量系统中需要多路传感读数系统独立安装的难题，能够实现对二维平面位移、旋转量及垂直于二维平面的四个自由度方向的位移精密测量，且通过布设距离传感器，实现直接调节和确定读数模块与二维光栅的最佳读数间距位置，简化了传统二维光栅安装调试的工艺过程，同时降低了其调试的技术难度。
基本信息
专利标题 ：
基于二维光栅的多自由度位移测量系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020312452.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-13
授权号 ：
CN211668441U
授权日 ：
2020-10-13
发明人 ：
刘红忠史永胜尹磊陈邦道
申请人 ：
苏州秦宁微纳光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区经济技术开发区漕湖街道观塘路1号西交大漕湖科技园C幢718室
代理机构 ：
广州市红荔专利代理有限公司
代理人 ：
关家强
优先权 ：
CN202020312452.4
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2020-10-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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