一种用于多晶硅片的脱胶机
授权
摘要
本实用新型提供了一种用于多晶硅片的脱胶机,属于机械技术领域。它解决了现有自动化硅片脱胶机无法密封,在脱胶过程中会有酸气的溢出等技术问题。本用于多晶硅片的脱胶机,包括底座,底座上固定有脱胶水槽,所述脱胶水槽上部具有开口,其特征在于,在底座上还固定有安装支架,安装支架上连接有安装板,安装板上固定有气缸,气缸的活塞杆上固定有盖板,盖板能将所述开口密封住,气缸的活塞杆末端还固定有安装架,安装架通过安装结构设置有用于放置硅片的放置箱,所述脱胶水槽上开设有抽气孔,抽气孔与一抽气管密封连通,抽气管与一抽气泵相连通,脱胶水槽上还设置有用于搅拌的搅拌机构。本实用新型具有使用效果好的优点。
基本信息
专利标题 :
一种用于多晶硅片的脱胶机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020381340.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-23
授权号 :
CN211989983U
授权日 :
2020-11-24
发明人 :
黄贤强
申请人 :
浙江溢闳光电科技有限公司
申请人地址 :
浙江省嘉兴市海盐县澉浦长青路1号
代理机构 :
浙江永航联科专利代理有限公司
代理人 :
俞培锋
优先权 :
CN202020381340.4
主分类号 :
B08B3/08
IPC分类号 :
B08B3/08 B08B3/10 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2020-11-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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