一种具有绝缘性的溅射炉夹具
授权
摘要
本实用新型公开了一种具有绝缘性的溅射炉夹具，包括基板、安装座和连接件，所述基板顶端的两侧均安装有安装座，且安装座的顶端均设置有安装槽，所述安装槽的内侧均安装有固定杆，所述第三连接轴上方连接件的两端之间均安装有第四连接轴，且第四连接轴的外壁均安装有移动件，所述移动件的一端均安装有第一连接轴，且第一连接轴的外壁均安装有夹持件，所述手柄的一端均通过第二连接轴固定连接于移动件的一端。本实用新型通过在夹持件的顶端皆均匀设置有凸起，且凸起一侧夹持件的顶端均设置有凹槽，通过在夹持件上表面增加凸起结构，能够阻挡镀膜脱落，从而避免浪费原材料、以及提高制程的精度，有利于降低生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种具有绝缘性的溅射炉夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020464880.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-02
授权号 ：
CN212247195U
授权日 ：
2020-12-29
发明人 ：
彭海
申请人 ：
无锡元核芯微电子有限责任公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区无锡中关村软件园11号楼201-1
代理机构 ：
连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
刘刚
优先权 ：
CN202020464880.9
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-12-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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