一种用于刀具磁控溅射镀膜的快速固定夹具
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于刀具磁控溅射镀膜的快速固定夹具，包括立式压力调节装置、横向夹紧装置和卧式驱动装置、夹具固定板、夹具机架；立式压力调节装置包括立式丝杠、驱动手柄、L形压块和T形螺母；横向夹紧装置包括驱动滑块、固定齿条、驱动齿条、压板和六角螺栓；卧式驱动装置包括支架、水平丝杠、立方螺母、连杆和推板。本实用新型有益效果：在夹具上设有能产生预紧作用的夹紧单元，将所施加外载荷压力有效转化为被加工刀具的夹紧力，结合刻度尺参照依据，采用简化的机械组件和简便操作，对被加工对象进行快速定位装夹，适用于不同尺寸形状刀具，为刀具纹理镀膜提供技术支撑，广泛应用于微制造技术中，促进微传感器智能刀具的研发。
基本信息
专利标题 ：
一种用于刀具磁控溅射镀膜的快速固定夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122311256.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-24
授权号 ：
CN216514098U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
郑敏利徐梦里高思远苏天宇赵东旭张全建
申请人 ：
哈尔滨理工大学
申请人地址 ：
黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122311256.2
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/50 C23C14/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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