一种磁控溅射镀膜机的两面镀膜夹具
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜机的两面镀膜夹具,包括底座和调节结构,所述底座的内部设置有调节结构,所述底座顶端的两侧固定连接有支撑杆,所述底座的一侧设置有转动机构。本实用新型通过调节结构的内部依次设置有滑杆、固定片、活动槽、固定螺栓、固定槽、和滑动槽,当需要镀膜物品的型号小时,拧动固定螺栓把固定螺栓从固定槽的内部拧出,固定螺栓拧出后,把支撑杆顺着滑动槽向里面推动时,活动槽也会在固定片的外部滑动,推到合适的位置后再把固定螺栓拧入固定槽的内部使夹板之间的距离变小,当需要镀膜物品的型号大时,同样是拧出固定螺栓,把支撑杆向外推动到合适的位置后,再把固定螺栓拧入固定槽的内部完成调节。

基本信息
专利标题 :
一种磁控溅射镀膜机的两面镀膜夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020975338.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-02
授权号 :
CN212316237U
授权日 :
2021-01-08
发明人 :
周焱文
申请人 :
武汉普迪真空科技有限公司
申请人地址 :
湖北省武汉市东湖新技术开发区高新四路40号葛洲坝太阳城23号楼101室
代理机构 :
湖北天领艾匹律师事务所
代理人 :
胡振宇
优先权 :
CN202020975338.X
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50  C23C14/35  
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IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-05-27 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23C 14/50
申请日 : 20200602
授权公告日 : 20210108
终止日期 : 20210602
2021-01-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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