一种用于溅射镀膜设备的夹具
授权
摘要
本实用新型提供一种用于溅射镀膜设备的夹具包括：夹具底；固定夹件，所述固定夹件固定连接于所述夹具底顶部的左侧；活动夹件，所述活动夹件固定连接于所述夹具底顶部的右侧，所述活动夹件包括活动块，所述活动块的底部与夹具底顶部的右侧滑动连接，所述活动块顶部的左侧固定连接有活动滑杆，所述活动块顶部的右侧固定连接有活动螺纹杆，所述活动滑杆与活动螺纹杆的顶部之间设置有活动夹；辅助夹件，所述辅助夹件固定连接于所述夹具底的顶部。本实用新型可以手动调节控制杆来对靶件进行固定，并且可以根据靶件的材质不同施加不同力量的压力，配合两个辅助垫板将靶件固定，夹取力度灵活可控。
基本信息
专利标题 ：
一种用于溅射镀膜设备的夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021315940.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-08
授权号 ：
CN213447282U
授权日 ：
2021-06-15
发明人 ：
刘长青郭翔宇
申请人 ：
长沙迈博光电有限公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市长沙经开区星沙产业基地蓝田北路1号梦工厂工业园A4栋107
代理机构 ：
湖南中泽专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
龙予倩
优先权 ：
CN202021315940.7
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-06-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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