一种晶圆定位机械手臂
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种晶圆定位机械手臂,包括顶部支撑板、第一皮带轮、电线管和壳体,所述壳体的顶端固定连接有盖体,所述盖体与壳体之间设置有安装结构,所述盖体的顶端活动连接有转盘,且转盘的中间位置处设置有内螺纹,所述内螺纹的内部活动连接有电线管,且电线管的顶端固定连接有滑竿,所述电线管的底端固定连接有底部支撑板,且底部支撑板的一端固定连接有第二伺服电机。本实用新型通过在盖体顶部一侧的一端固定连接有控制阀,转动控制阀对牵引线进行收紧,拉动固定块靠近控制阀,同时滑槽使第一皮带轮正常工作,使第一皮带轮始终保持紧绷,机械臂更好的进行工作,避免影响机械臂调节方向。

基本信息
专利标题 :
一种晶圆定位机械手臂
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020553205.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-15
授权号 :
CN211788961U
授权日 :
2020-10-27
发明人 :
唐超林坚
申请人 :
泓浒(昆山)半导体光电有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山开发区环娄路181号(2号厂房)
代理机构 :
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 :
林波
优先权 :
CN202020553205.3
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687  H01L21/68  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-01-12 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/687
变更事项 : 专利权人
变更前 : 泓浒(昆山)半导体光电有限公司
变更后 : 泓浒(苏州)半导体科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215300 江苏省苏州市昆山开发区环娄路181号(2号厂房)
变更后 : 215131 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室
2020-10-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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