一种监控基板弯曲的系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种监控基板弯曲的系统，包括光源，显微镜，控制系统，基板，所述基板放置在平台上，所述基板上方设有参考平面板，所述参考平面板为透明面板，所述光源设置在基板一侧，所述光源为可旋转方向光源，光源的射光方向朝向基板，所述基板的另一侧设有显微镜，所述显微镜上设置有温感装置，所述显微镜和温感装置连接控制系统，该监控系统的研发，可完全监控产品的基板弯曲度，提高了产品的良率，且结构简单。
基本信息
专利标题 ：
一种监控基板弯曲的系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020629975.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-23
授权号 ：
CN211828691U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
张浩陈青
申请人 ：
海太半导体（无锡）有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区新区出口加工区K5、K6地块
代理机构 ：
无锡市朗高知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵华
优先权 ：
CN202020629975.1
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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