一种卷料冷却装置及原子层沉积设备
授权
摘要
本实用新型提供了一种卷料冷却装置及原子层沉积设备，其中卷料冷却装置包括支架、限位辊和冷水辊。本实用新型技术方案通过在支架上设置限位辊，两限位辊平行设置，同时在支架上设置冷水辊，冷水辊的轴线与限位辊的轴线平行，且冷水辊位于两限位辊之间，冷水辊的轴线与两限位辊的轴线之间的连线的角度小于70度，当卷料依次经过限位辊、冷水辊和另一限位辊后，卷料贴附在冷水辊的表面，并由于两限位辊的限位作用，使得卷料与冷水辊之间的接触面积达到最大。通过冷水辊内的水流，能够快速降低卷料的温度。
基本信息
专利标题 ：
一种卷料冷却装置及原子层沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020669901.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-27
授权号 ：
CN212109201U
授权日 ：
2020-12-08
发明人 ：
李哲峰乌磊
申请人 ：
深圳市原速光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区新安街道群辉路1号优创空间一号楼511-513
代理机构 ：
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所
代理人 ：
薛福玲
优先权 ：
CN202020669901.0
主分类号 ：
F25D31/00
IPC分类号 ：
F25D31/00 F25D25/04 C23C16/455
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F25
制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化
F25D
冷柜；冷藏室；冰箱；其他小类不包含的冷却或冷冻装置
F25D
冷柜；冷藏室；冰箱；其他小类不包含的冷却或冷冻装置
F25D31/00
其他冷却或冷冻设备
法律状态
2020-12-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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