收放料纠偏装置及原子层沉积设备

授权

摘要

本实用新型公开了一种收放料纠偏装置及原子层沉积设备，所述收放料纠偏装置包括：放卷组件和收卷组件，物料从放卷组件输出并被收卷组件接收；第一检测组件设置于所述放卷组件的放料路径上，所述第一检测组件用于检测输出的物料是否偏位；第一纠偏组件连接至所述放卷组件，所述第一纠偏组件用于根据所述第一检测组件的检测结果调整所述放卷组件的位置；第二检测组件设置于所述收卷组件的收料路径上，所述第二检测组件用于检测收卷组件接收的物料是否偏位；第二纠偏组件连接至所述收卷组件，所述第二纠偏组件用于根据所述第二检测组件的检测结果调整所述收卷组件的位置，通过上述结构，实现基材从放卷组件到收卷组件的位置纠偏。

基本信息

专利标题：

收放料纠偏装置及原子层沉积设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020682231.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-27

授权号：

CN212355905U

授权日：

2021-01-15

发明人：

李哲峰乌磊

申请人：

深圳市原速光电科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市宝安区新安街道群辉路1号优创空间一号楼511-513

代理机构：

深圳市世纪恒程知识产权代理事务所

代理人：

郭春芳

优先权：

CN202020682231.6

主分类号：

B65H23/032

IPC分类号：

B65H23/032