纠偏装置及原子层沉积设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种纠偏装置及原子层沉积设备，所述纠偏装置包括：底板，所述底板上设置有与所述底板活动连接的放卷组件、传送组件和收卷组件，物料从所述放卷组件输出，经所述传送组件传送后被所述收卷组件收卷；所述放卷组件、传送组件和收卷组件各设置有检测组件和纠偏组件，以分别对所述放卷组件、传送组件和收卷组件上传送的基材进行纠偏，如此，通过上述结构，可以实现对基材传送过程中的全过程位置纠偏。
基本信息
专利标题 ：
纠偏装置及原子层沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020669753.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-27
授权号 ：
CN212221899U
授权日 ：
2020-12-25
发明人 ：
李哲峰乌磊
申请人 ：
深圳市原速光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区新安街道群辉路1号优创空间一号楼511-513
代理机构 ：
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所
代理人 ：
薛福玲
优先权 ：
CN202020669753.2
主分类号 ：
B65H23/032
IPC分类号 ：
B65H23/032
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65H
搬运薄的或细丝状材料，如薄板、条材、缆索
B65H23/00
定位、张紧、平整或引导条材
B65H23/02
横向地
B65H23/032
控制条材的横向定位
法律状态
2020-12-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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