传料纠偏装置及原子层沉积设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种传料纠偏装置及原子层沉积设备，所述传料纠偏装置用于对原子层沉积过程中的基材进行传送，所述传料纠偏装置包括：底板，所述底板上设置有多个鱼眼轴承组件；传送组件，所述传送组件包括活动板以及转动设置于所述活动板上的至少一个传送辊，所述活动板设置于所述鱼眼轴承组件上；驱动组件，所述驱动组件连接至其中一个所述鱼眼轴承组件上，以通过所述鱼眼轴承组件带动所述活动板以及所述传送辊来回摆动，从而对所述传送辊上传送的物料进行纠偏。
基本信息
专利标题 ：
传料纠偏装置及原子层沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020682186.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-27
授权号 ：
CN212334143U
授权日 ：
2021-01-12
发明人 ：
李哲峰乌磊
申请人 ：
深圳市原速光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区新安街道群辉路1号优创空间一号楼511-513
代理机构 ：
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所
代理人 ：
陈文斌
优先权 ：
CN202020682186.4
主分类号 ：
B65H23/032
IPC分类号 ：
B65H23/032 B65H20/02 C23C16/455
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65H
搬运薄的或细丝状材料，如薄板、条材、缆索
B65H23/00
定位、张紧、平整或引导条材
B65H23/02
横向地
B65H23/032
控制条材的横向定位
法律状态
2021-01-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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