带有清洁功能的机械手及管式PECVD设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种带有清洁功能的机械手及管式PECVD设备，其中所涉及带有清洁功能的机械手包括承重臂及清洁机构，所述清洁机构具有固定设置于所述承重臂下侧且内部形成有空腔的本体部，所述本体部设置有与所述空腔连通以对所述空腔抽气或供气的气管连接口以及供所述空腔连通至外界的清洁口；基于本实用新型所提供带有清洁功能的机械手，在管式PECVD设备的具体应用场景中，通过对清洁机构的气管连接口进行抽气动作，可以将炉管内的碎片等异物吸附至本体部的空腔内，进而可在炉管外部进行碎片等异物的排出动作，如此可有效避免现有技术所存在耽误生产进程、污染及损伤炉管等问题。
基本信息
专利标题 ：
带有清洁功能的机械手及管式PECVD设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020770091.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-11
授权号 ：
CN212601940U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
洪亚军王森陈东曹祥朱文荣
申请人 ：
阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市阜宁经济开发区协鑫大道88号
代理机构 ：
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张炜平
优先权 ：
CN202020770091.8
主分类号 ：
B25J19/00
IPC分类号 ：
B25J19/00 B25J11/00 C23C16/50
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J19/00
与机械手配合的附属装置，例如用于监控、用于观察；与机械手组合的安全装置或专门适用于与机械手结合使用的安全装置
法律状态
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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