一种硅片存放装置
授权
摘要
本实用新型提供一种硅片存放装置，具有水槽，在所述水槽内设有用于承载并控制片篮的控制单元，所述控制单元带动所述片篮在所述水槽内升降或倾斜。本实用新型存放装置，尤其是适用于抛光过程中临时存放因设备异常暂停而导致无法继续流转的硅片，结构简单，易于控制，不仅可保护硅片的完整性，而且可防止硅片暴漏在空气中而报废，保证硅片流转的连续性，提升抛光机的稼动率，提高生产效率，降低生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片存放装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020774034.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-12
授权号 ：
CN212330687U
授权日 ：
2021-01-12
发明人 ：
刘园袁祥龙武卫刘建伟祝斌刘姣龙裴坤羽孙晨光王彦君王聚安由佰玲常雪岩杨春雪谢艳刘秒吕莹徐荣清
申请人 ：
天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号
代理机构 ：
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
栾志超
优先权 ：
CN202020774034.7
主分类号 ：
B24B41/00
IPC分类号 ：
B24B41/00 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件，比如机架，床身，滑板，床头箱的
法律状态
2021-01-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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