一种用于真空设备封口的真空检测装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种不仅结构简单，而且使用灵活性好，同时使用适用性好的一种用于真空设备封口的真空检测装置，包括检测平台、氦气单元、氦质谱检测仪和真空泵，所述检测平台的上端面的光洁度达到8级或以上，在待检测的真空设备放置在检测平台的上端面时真空设备的封口的下端面与检测平台的上端面实现面面接触。优点：一是真空检测装置不仅结构简单，而且检测准确性好，同时使用灵活性高；二是真空检测装置不仅适用性好，而且使用成本低，同时维养方便。
基本信息
专利标题 ：
一种用于真空设备封口的真空检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020792506.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-13
授权号 ：
CN212621313U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
陈国明陈澄王珍华
申请人 ：
杭州大精真空技术有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市余杭区兴国路530号4号楼
代理机构 ：
杭州仁杰专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张俊
优先权 ：
CN202020792506.1
主分类号 ：
G01M3/20
IPC分类号 ：
G01M3/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/04
通过在漏泄点检测流体的出现
G01M3/20
应用特殊示踪物质，例如染料、荧光材料、放射性材料
法律状态
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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