可便捷拆装清理式单晶炉
授权
摘要
一种可便捷拆装清理式单晶炉，包括炉体、排气装置，排气装置包括第一排气管、四通管、卡箍组件、盲板、真空阀、第二排气管、真空泵，第一排气管的入口端与炉体的内腔连通，第一排气管的出口端与四通管的左端口密封连接，四通管的右端口通过卡箍组件与盲板密封连接，四通管的上端口通过卡箍组件与盲板密封连接，四通管的下端口与真空阀的入口端密封连接，真空阀的出口端与第二排气管的入口端密封连接，第二排气管出口端与真空泵的入口密封连接，改用四通管作为连接管，管道内残留聚集的氧化物可以很轻松的、彻底的清理干净，四通管的右端口、上端口均通过卡箍组件盲板密封连接，安装和拆卸方便，有效的提高了清理效率。
基本信息
专利标题 ：
可便捷拆装清理式单晶炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020949520.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-29
授权号 ：
CN212426239U
授权日 ：
2021-01-29
发明人 ：
马玉怀陈元寿
申请人 ：
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请人地址 ：
宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号
代理机构 ：
宁夏合天律师事务所
代理人 ：
张淼
优先权 ：
CN202020949520.8
主分类号 ：
C30B15/00
IPC分类号 ：
C30B15/00 C30B29/06 C30B31/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
法律状态
2021-01-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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