一种软轴单晶炉快速拆装的热场结构
授权
摘要
本实用新型涉及单晶硅生产领域,公开了一种软轴单晶炉快速拆装的热场结构,包括炉体,所述炉体上部设置有炉盖,所述炉盖下侧外周固定连接有上翼环,所述炉体上部外周固定连接有下翼环,所述下翼环左右两侧均转动连接有螺纹杆,所述下翼环前后两侧上部均固定连接有限位杆,所述炉体左右两侧中上部均固定连接有减速电机,所述炉体内侧中下部设置有隔板,所述隔板中部转动连接有套管,所述套管下侧外周固定连接有从动锥齿轮。本实用新型中,通过驱动减速电机,快速、省力的打开热场,对内部的热场结构进行维修,通过驱动伺服电机,使得支撑杆带动托盘上下移动,方便根据生产工艺对坩埚的高度进行调整。
基本信息
专利标题 :
一种软轴单晶炉快速拆装的热场结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202220086343.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2022-01-13
授权号 :
CN216639703U
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
马幼学关树军张宇辉王楠任杰
申请人 :
乌海市京运通新材料科技有限公司
申请人地址 :
内蒙古自治区乌海市海勃湾工业园区陕汽项目东侧
代理机构 :
北京精翰专利代理有限公司
代理人 :
卓邦荣
优先权 :
CN202220086343.4
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00 C30B15/10 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2022-05-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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