一种单晶炉热场冷却装置

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摘要

本实用新型公开了一种单晶炉热场冷却装置，包括横向保温支撑环和至少两个冷却升降装置，每个冷却升降装置均包括托板、支撑连杆、波纹软管和升降底座；横向保温支撑环设在中部碳基保温筒和下部碳基保温筒之间，并与中部保温支撑筒底部相连；托板一端与横向保温支撑环相连，另一端与支撑连杆的顶端相连；支撑连杆位于碳基保温筒和炉筒之间的真空腔体内，另一端从炉底板中穿出，并与升降底座相连；波纹软管套装在支撑连杆外周；波纹软管内呈真空状态；波纹软管的长度能够伸缩，升降底座的高度能够升降。本申请能将热场的冷却时间缩短50%以上，并且拆炉时热场温度能控制在100‑200℃，减弱热场氧化，提高石墨件使用寿命，降低生产成本。

基本信息

专利标题：

一种单晶炉热场冷却装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921411027.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-28

授权号：

CN210657215U

授权日：

2020-06-02

发明人：

文勇孟涛王海庆姚亮

申请人：

包头美科硅能源有限公司

申请人地址：

内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司

代理人：

石艳红

优先权：

CN201921411027.4

主分类号：

C30B15/00

IPC分类号：

C30B15/00